制备多晶硅薄膜的晶化方法

摘要：

该文概述了目前世界上常用的利用晶化技术制备多晶硅薄膜的方法,这些技术包括直接固相晶化和激光晶化等,并讨论了它们各自的特点.

关键词： 多晶硅薄膜 太阳电池 液晶显示 微电子技术 薄膜晶化

作者: 张宇翔 冯团辉 杨仕娥 陈永生 李瑞 郭敏

作者单位: 郑州大学物理工程学院

会议类型: 国内会议

会议名称: 2004年中国生物质能技术与可持续发展研讨会

会议地点: 郑州

会议语种:中文

页码: 415-416

在线出版日期: 2004-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）