低量程高精度应变式压力传感器研制

摘要：

基于有限元方法,设计了一种用于应变式压力传感器的梁-膜-岛结构弹性体,分析了这种结构的优点;找到了结构参数的最佳匹配值,使传感器的精度大幅度提高,量程范围进一步降低;同时具有结构简单、易于加工装配、成本低廉的特点.

关键词： 传感器 梁-膜-岛结构 有限元 结构参数 量程范围

作者: 于炜

作者单位: 中国空气动力研究与发展中心设备设计与测试技术研究所(四川绵阳)

会议类型: 国内会议

会议名称: 2004全国空气动力测控技术交流会

会议地点: 井冈山

会议语种:中文

页码: 262-269

在线出版日期: 2004-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）