空气动力学用微型压阻压力传感器
在江苏省2002年度重点工业攻关项目支持下完成的CYG503(φ3.5mm)微型动态压阻压力传感器即是专为空气动力学动态压力测试设计的.从MEMS硅压阻微压力敏芯片的设计,微机械加工制造到无应力微封装的完成,均是自主知识产权的结晶.它填补了国内微型传感器国产产品空白,结束了Kulite库利特公司,Endvco思特弗可公司独占我国这一需求领域市场的局面.在平时,替代进口,可节约大量外汇;当政治局势变化受到禁运限制时,能确保我国军事科学技术与尖端科研的需求.
压阻压力传感器 空气动力学 动态压力测试 硅压阻微压力敏芯片 微机械加工制造 微封装
许广军 王文襄 李水俠 温争艳
昆山双桥传感器测控技术有限公司(江苏昆山)
国内会议
井冈山
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259-261
2004-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）