分子束外延半导体低维结构

摘要：

本文通过对分子束外延技术发展中一些重要问题的分析和讨论,结合我们自己的研究工作,综合评述了利用分子束外延技术制备半导体低维结构的特点、关键和发展.

关键词： 分子束外延 半导体 低维结构 自组织生长

作者: 孔梅影 曾一平

作者单位: 中国科学院半导体研究所材料中心(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十三届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议暨第九届全国固体薄膜学术会议

会议地点: 大连

会议语种:中文

页码: 1-8-1-11

在线出版日期: 2004-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）