LIGA技术及其在四级质谱计阵列微型化中的应用

摘要：

滤质器作为质谱仪器的关键部分,在很大程度上决定整台质谱仪器的体积、质量、功耗等性能,其小型化制造技术成为小型质谱计生产的关键技术.作为制作三维微结构理想途径的LIGA技术,由于其加工深度可达mm量级,精度可至亚μm量级,深宽比高达200,易于形成低成本工业生产规模等优点,使其成为制造小型质谱计的理想技术.

关键词： 质谱计 LIGA技术 阵列微型化

作者: 丁军平 周抗寒 黄刚 凌波 刘学博

作者单位: 航天医学工程研究所(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国质谱学会第七届会员代表大会暨学术报告会

会议地点: 广西北海

会议语种:中文

页码: 223-224

在线出版日期: 2004-10-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）