用混合Petri网对微开关加工系统建模和仿真

摘要：

半导体加工系统是一个非常复杂的、离散事件和连续时间相结合的混合动态系统,离散Petri网不能很好地对这样的系统进行建模和分析,混合Petri网可以很好地描述半导体加工系统的静态属性及动态行为.实际上,运用离散Petri网将面临状态爆炸以及仿真的高消耗的问题.混合Petri网用来对半导体加工系统进行建模和仿真,这类模型用于微开关加工流程的建模和仿真,证明结果很精确并且仿真速度很快.

关键词： 半导体加工系统 Petri网 微开关 系统建模 仿真速度 动态仿真

作者: 胡红革 宋亚辉 黄大贵

作者单位: 电子科技大学机电工程学院(成都);中国工程物理研究院计算机研究所(绵阳) 电子科技大学机电工程学院(成都)

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国仪器仪表学会第六届青年学术会议

会议地点: 重庆

会议语种:中文

页码: 98-100

在线出版日期: 2004-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）