MEMS亟待解决的七个问题

摘要：

针对MEMS产品步入市场所面临的问题,总结出MEMS亟待解决的粘着、静电力计算、微流、纳米摩擦、检测、薄膜应力和表面粗糙度七个问题;并对粘着、静电力算、微流和检测计4个问题,分别提出W-S模型微观连续介质理论、电荷分布积分法、当量粘度系数修正法和SPM法4种解决方法,为MEMS的进一步研究提供理论基础.

关键词： MEMS 静电力 当量粘度系数 静电微马达

作者: 田文超 贾建援

作者单位: 西安电子科技大学机电工程学院(西安)

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国仪器仪表学会第六届青年学术会议

会议地点: 重庆

会议语种:中文

页码: 95-97

在线出版日期: 2004-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）