一种表征介质洁净度的计数装置

摘要：

详细分析了洁净介质中颗粒状杂质检测的光学计数原理,并根据光散射理论推导出了消光式颗粒计数器中的光能与粒径之间的对应关系.通过数值计算,说明了消化原理在具体应用中存在的不足,分析了在对大颗粒测量时用光阻原理代替消光原理的可行性.设计了一套计数装置,增加了用于小颗粒检测的前向散射光探测器和光源波动监测器.实验结果表明,该套计数装置能够对0.5μm以上的颗粒进行检测,可以表征被测对象的洁净度.

关键词： 消光系数 洁净介质 光学计数 颗粒计数器 洁净技术 洁净控制

作者: 黄廷磊 李敏 陈亚珠

作者单位: 桂林电子工业学院计算机系(桂林);上海交通大学生命科学技术学院(上海) 桂林电子工业学院计算机系(桂林) 上海交通大学生命科学技术学院(上海)

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国仪器仪表学会第六届青年学术会议

会议地点: 重庆

会议语种:中文

页码: 148-150,160

在线出版日期: 2004-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）