基于MEMS技术的集成温湿传感器研制

摘要：

基于MEMS技术设计的集成温湿度传感器具有重量轻、体积小、成本低、易集成等特点,并可大大提高器件的一致性,可靠性,易形成批量生产能力.从理论上分析了利用热电原理测量空气相对湿度的可行性、集成温湿传感器的结构,以及具体测量方法.重点介绍了湿度部分的测量,证实所设计的集成传感器有良好性能.

关键词： MEMS 温湿传感器 热电原理 温湿测量

作者: 方震 武宇 赵湛 张博军

作者单位: 中科院电子所传感技术国家重点实验室(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国仪器仪表学会第六届青年学术会议

会议地点: 重庆

会议语种:中文

页码: 123-125

在线出版日期: 2004-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）