基于SU-8胶的微针执行器的研制

摘要：

利用MEMS技术设计和制作了一种微量取样执行器.执行器由微针、微通道、反应室、电极以及永磁微阵列等各部分组成,通过外部磁场可以实现双向线性地驱动.利用SU-8光刻胶为主要材料,采用多级曝光和电铸金属实现3D结构的工艺技术,研制出了微针执行器的雏形器件.针尖的尺寸为500μm×60μm×60μm,针孔截面为20μm×20μm.

关键词： 微针执行器 MEMS 生化微系统 微针工艺

作者: 秦宁 赵湛 张博军 陈绍凤 夏善红

作者单位: 中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室(北京);中国科学院研究生院(北京) 中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国仪器仪表学会第六届青年学术会议

会议地点: 重庆

会议语种:中文

页码: 104-106

在线出版日期: 2004-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）