基于聚酰亚胺的温湿压集成传感器

摘要：

微型化、集成化可以使得传感系统减少体积、重量,降低成本,提高系统的可靠性,具有重要的科学意义.基于聚酰亚胺材料,利用MEMS技术,设计了一个用于测量大气湿度、温度和气压检测的微型集成传感器.分别采用湿敏电容、铂电阻法和聚酰亚胺薄膜对湿度、温度、压力进行检测,并且进行了理论计算,设计了加工工艺步骤,制作出雏形器件.

关键词： 集成传感器 MEMS 聚酰亚胺 湿度 温度 压力 加工工艺

作者: 武宇 赵湛 方震 张博军

作者单位: 中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室(北京);中国科学院研究生院(北京) 中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国仪器仪表学会第六届青年学术会议

会议地点: 重庆

会议语种:中文

页码: 101-103

在线出版日期: 2004-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）