用氢氟酸薰蒸清除元器件表面氧化与污染的方法

摘要：

在电子元器件的制造过程中,经常会出现表面被氧化或污染的现象用氢氟酸薰蒸可以有效地清除这些氧化或污染.本文通过一系列试验,探讨了用氢氟酸薰蒸的方法清除晶闸管管芯表面的氧化和污染,从而改善了其阻断特性,大大提高了产品合格率,并简要分析了其作用机理.

关键词： 氢氟酸 薰蒸 晶闸管 磨角 腐蚀

作者: 郇维亮

作者单位: 鞍山科技大学

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国电子学会第十三届电子元件学术年会

会议地点: 桂林

会议语种:中文

页码: 259-261

在线出版日期: 2004-06-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）