低双折射系数的硅基二氧化硅波导制备与数值分析

摘要：

采用非传统工艺制备了硅基二氧化硅光波导,制备的波导侧向存在一硅层.利用有限元法(FEM)从理论上分析了侧向硅层存在时的硅基二氧化硅光波导的应力分布,并采用全矢量隐含迭代法束传播法(ADI-BPM)对制备的光波导双折射系数进行计.结果表明,侧向硅层的存在可平衡硅基二氧化波导在水平方向与垂直方向的应力,减小这两个方向上的应力差,有助于减小硅基二氧化硅光波导的应力双折射.

关键词： 硅基二氧化硅 光波导 制备工艺 数值分析 有限元法 应力分布

作者: 安俊明 李健 郜定山 夏君磊 李建光 王红杰 胡雄伟

作者单位: 中国科学院半导体研究所,光电子研究发展中心(北京);内蒙古大学物理系 中国科学院半导体研究所,光电子研究发展中心(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第二届中国光纤器件发展研讨会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 183-185

在线出版日期: 2004-05-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）