SOI阵列波导光栅的设计与制作

摘要：

本文讲述了基于SOI材料的5×5阵列波导光栅(AWG)的设计与器件的制作.设计结果显示,通过选择合适的波导结构可以有效地减小器件的偏振特性;采用合适的弯曲半径,不但可以减小器件的损耗,而且可以降低器件的串扰.器件的测试结果表明,器件的中心波长、通道间隔与设计值基本相符;器件的相邻信导串扰接近10dB.器件初步达到分波的功能.

关键词： SOI材料 阵列波导光栅 信道间隔 设计制作

作者: 方青 邱海军 李芳 刘育梁

作者单位: 中国科学院半导体研究所(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第二届中国光纤器件发展研讨会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 218-220

在线出版日期: 2004-05-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）