基于MEMS技术的新型加速度计开发及其在故障诊断中的应用
提出了开发一种新颖电容式MEMS微加速计的思路,使其具有较宽的量程和合适的频响范围,较高的测量精度,能满足汽轮发电机组、风机和离心机等旋转机械的故障诊断技术要求.针对提出的微结构理论模型,给出了基于ANSYS有限元计算模拟结果和优化设计方法.考虑低成本制造因素,给出了硅底材料刻蚀加工的基本工艺方案.探讨了在碟片式分离机智能化故障诊断中的一体化设计及应用.
微机电系统 加速度计 故障诊断 微加速计 硅底材料刻蚀加工 碟片式分离机 智能化
杨健 贺世正
浙江大学材化学院化工机械研究所(杭州)
国内会议
成都
中文
561-563
2004-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）