强流溅射源束流杂质的分析和消除

摘要：

在强流溅射源靶阴极与阳极之间的绝缘套筒上加上内外金属屏蔽帽,从而降低了束流杂质,提高了束流的纯度和强度.

关键词： 束流杂质 绝缘套筒 金属屏蔽帽 强流溅射源

作者: 包轶文 王晓飞 秦久昌 游曲波

作者单位: 中国原子能科学研究院核物理所

会议类型: 国内会议

会议名称: 第四届全国高压型加速器技术及应用学术交流会

会议地点: 南宁

会议语种:中文

页码: 123-126

在线出版日期: 2004-05-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）