无磨料低温抛光的均匀性仿真

摘要：

无磨料低温抛光是一种可获得原子级超光滑表面的新方法.作者首先对加工区进行建模,并分析了冰盘与工件盘在水平面内的相对运动,然后利用Preston方程对工件的抛光均匀性进行了分析,并用数值方法实现了计算机仿真.结果表明:工件盘与冰盘的偏心距越大,工件的抛光均匀性越好.

关键词： 机械设计 无磨料抛光 低温抛光 均匀性 仿真

作者: 高春甫 刘向阳 王立江 刘巍娜 王晓飞

作者单位: 吉林大学机械科学与工程学院(吉林长春)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第15届中国过程控制会议

会议地点: 长春

会议语种:中文

页码: 388-391

在线出版日期: 2004-07-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）