在氮气氛中二次合金对GaN基LED欧姆接触的影响研究

摘要：

研究了不同外延工艺的外延片上Ni/Au透明电极在氮气中合金对其欧姆接触性能的影响,发现其正向压降(Vf)有的上升,有的仍然保持不变,同时对这种现象进行了讨论.

关键词： 氮气 合金 外延工艺 欧姆接触性能 正向压降 发光二极管 氮化镓

作者: 刘卫华 周毛兴 刘和初 莫春兰 方文卿 江风益

作者单位: 南昌大学教育部发光材料与器件工程研究中心;江西省昌大光电科技有限公司(南昌)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第九届全国LED产业研讨与学术会议

会议地点: 南昌

会议语种:中文

页码: 42-44

在线出版日期: 2004-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）