正压漏孔校准装置的研制

摘要：

本文介绍了我们对正压漏孔校准方法的研究,为了对不同示漏气体的正压漏孔进行精确校准,我们建立了一套改进型的(PΔV/t)漏孔校准装置,并对该装置进行了不确定度的分析.装置校准范围1×10<”-4>Pa.m<”3>/s~1×10<”-6>Pa.m<”3>/s,校准装置的最佳校准能力小于4.0﹪(k=2).

关键词： 正压漏孔 校准能力 校准装置 真空检漏

作者: 王金锁 许红 唐景远

作者单位: 上海市计量测试技术研究院

会议类型: 国内会议

会议名称: 2004中国真空学会真空获得与测量学术交流会

会议地点: 宜昌

会议语种:中文

页码: 80-85

在线出版日期: 2004-07-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）