一台国外引进微光管制备真空设备超高真空获得的技术改进

摘要：

本文全面系统介绍了国外引进微光管超高真空设备的系统结构、组成,设备功能及关键技术指标,得出了超高真空获得技术改进取得的结果,并对设备在国内的应用前景作了全面分析.

关键词： 微光管 超高真空 传递铟封 阴极激活 真空获得技术

作者: 徐江涛

作者单位: 西安应用光学研究所

会议类型: 国内会议

会议名称: 2004中国真空学会真空获得与测量学术交流会

会议地点: 宜昌

会议语种:中文

页码: 68-73

在线出版日期: 2004-07-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）