利用静态膨胀法真空装置和质谱计校准标准漏孔

摘要：

本文介绍了利用静态膨胀法真空装置和残余气体四极质谱计校准标准漏孔的方法,通过实验验证了该方法的可行性,并给出了该装置测量范围(10<”-5>~10<”-7>)Pa.m<”3>/s,装置的最佳校准能力小于3.0﹪(k=2).

关键词： 静态膨胀 真空装置 校准能力 标准漏孔 真空检漏

作者: 王金锁 许红

作者单位: 上海市计量测试技术研究院(上海)

会议类型: 国内会议

会议名称: 2004中国真空学会真空获得与测量学术交流会

会议地点: 宜昌

会议语种:中文

页码: 1-6

在线出版日期: 2004-07-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）