金属膨胀法真空标准装置的计算机控制技术

摘要：

本文介绍了兰州物理研究所金属膨胀式真空标准装置的工作原理,以及使用计算机对金属膨胀式真空标准装置前级标准进行控制和数据采集的原理和方法,给出了对RUSKA7010型石英布尔登规进行计算机控制的具体方法.本标准主要用于校准电容薄膜真空计和磁悬浮转子真空计.

关键词： 计算机控制 真空计 真空标准 金属膨胀

作者: 赵定众 冯焱 成永军

作者单位: 兰州物理研究所(甘肃兰州)

会议类型: 国内会议

会议名称: 2004中国真空学会真空获得与测量学术交流会

会议地点: 宜昌

会议语种:中文

页码: 49-56

在线出版日期: 2004-07-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）