降低真空系统漏气率的措施初探

摘要：

如何设计真空系统,提高系统的密封性,降低系统的漏气率,是使真空系统更好的为现代工业发展服务的关键所在.西安理工大学晶体生长设备研究所是我国研究生产人工晶体生长设备的骨干企业,具有40多年设计生产真空设备的经验,根据多年的工作经验,对提高真空系统密封性,降低系统漏气率方面谈一点认识.

关键词： 真空系统 真空设备 漏气率 密封形式

作者: 李留臣

作者单位: 西安理工大学晶体生长设备研究所(西安)

会议类型: 国内会议

会议名称: 2004中国真空学会真空获得与测量学术交流会

会议地点: 宜昌

会议语种:中文

页码: 21-24

在线出版日期: 2004-07-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）