激光陀螺的超高真空获取技术

摘要：

激光陀螺是迄今为止在惯性技术领域唯一真正获得了卓有成效的实际应用的非机电式中高精度惯性敏感仪表.它具有稳定性好、精度高、动态范围宽、寿命长等诸多优点.而超高真空的获取是激光陀螺制造过程中至关重要的环节.在激光陀螺的密封、抽真空、检漏、等离子清洗等过程中,都涉及到超高真空的获取技术.本文将对激光陀螺生产过程中超高真空的获取技术进行探讨.

关键词： 超高真空 真空泵 真空规 检漏仪 激光陀螺

作者: 王川 王轲

作者单位: 中国航天时代电子公司研究院

会议类型: 国内会议

会议名称: 2004中国真空学会真空获得与测量学术交流会

会议地点: 宜昌

会议语种:中文

页码: 96-104

在线出版日期: 2004-07-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）