定容式气体微流量校准装置漏放气性能研究

摘要：

文章介绍了定容式气体微流量校准装置的组成、工作原理、校准范围以及测量不确定度,详细阐述了流量计定容室的漏放气率的测试过程及测试结果,并给出了静态压力上升速率曲线,并对测试结果进行了分析和讨论.

关键词： 定容式流量计 漏放气率 校准装置 真空检漏

作者: 郭美如 张涤新 李得天 赵澜

作者单位: 兰州物理研究所(甘肃兰州)

会议类型: 国内会议

会议名称: 2004中国真空学会真空获得与测量学术交流会

会议地点: 宜昌

会议语种:中文

页码: 57-67

在线出版日期: 2004-07-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）