玻璃毛细漏孔漏率的测量

摘要：

本文介绍了我们对毛细漏孔气流状态,漏率测量以及Q-P关系的研究.我们利用石英玻璃拉制的毛细漏孔漏率范为1×10<”-4>Pa.m<”3>/s~3×10<”-7>Pa.m<”3>/s(0.1MPa差压下漏到大气),测量装置为我们建立的一套改进型的(PΔV/t)漏孔校准装置,装置校准范围4×10<”-8>mol/s~1×10<”-10>mol/s(1×10<”-4>Pa.m<”3>/s~3×10<”-7>Pa.m<”3>/s),校准装置的总不确定度(不包括被检漏孔的不重复性)U=2﹪~5﹪(k=2).

关键词： 毛细漏孔 气流状态 校准装置 真空检漏

作者: 王金锁 许红 唐景远

作者单位: 上海市计量测试技术研究院

会议类型: 国内会议

会议名称: 2004中国真空学会真空获得与测量学术交流会

会议地点: 宜昌

会议语种:中文

页码: 105-109

在线出版日期: 2004-07-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）