基于块匹配技术的MEMS器件平面微运动特性的测量

摘要：

为测量MEMS谐振器周期运动过程中各个时刻的运动特性及其动态特性参数,基于频闪成像原理得到了MEMS谐振器一个周期内各时刻的清晰运动图像,利用块匹配技术对MEMS谐振器的运动图像进行处理,从而得到其特性参数,为MEMS器件的设计提供重要参考.实验结果表明,该方法具有较好的测量精度,测量重复性达到40nm.

关键词： 自动控制技术 MEMS谐振器 动态特性 频闪成像 块匹配

作者: 金翠云 栗大超 靳世久 王立坤 李一博

作者单位: 天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室(天津)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第15届中国过程控制会议

会议地点: 长春

会议语种:中文

页码: 445-448

在线出版日期: 2004-07-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）