高纯氨和高纯三甲基镓规模化生产技术
本项目生产的高纯氨和高纯三甲基稼是利用先进的纯化技术而设计生产的高纯、超净的光电子材料产品.其纯度水平为99.9999﹪(6N),检测控制的有害气体和金属杂质为ppb级;纯化工艺控制高精度;分析检测技术高灵敏度;产品包装超净.目前,已建成年产能力100吨高纯氨和年产能力200公斤的高纯三甲基镓生产装置.本项目在生产6N级高纯超净氨和高纯三甲基镓产品的同时,建立了与国际先进标准接轨的企业标准,提高了我国材料体系的技术档次,为建立国家标准奠定了技术基础.该项目已列入国家”863”计划,国家高技术产业化示范工程项目及大连市重大产业化项目.
氨 三甲基镓 金属有机化合物 化学气相淀积 半导体材料 氮化镓
赵毅
大连保税区科利德化工科技开发有限公司
国内会议
南昌
中文
34-35
2004-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）