电子束蒸发沉积ITO透明导电薄膜的物理性质研究

摘要：

目前制备ITO薄膜方法有蒸发、磁控溅射、反应离子镀、化学汽相沉积、热解喷涂等,本文采讨论用电子束加热蒸镀的方法制备ITO薄膜,并研究ITO薄膜光电特性.

关键词： ITO薄膜 光透射率 方块电阻 电子束蒸发沉积 氧化铟锡薄膜 半导体导电薄膜 光电性能

作者: 田洪涛 谢雪峰 吴启保

作者单位: 方大集团股份有限公司(广东深圳)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第九届全国LED产业研讨与学术会议

会议地点: 南昌

会议语种:中文

页码: 39-41

在线出版日期: 2004-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）