氮化镓蓝、绿发光二极管规模化生产技术

摘要：

综述了上海蓝光科技有限公司在氮化镓蓝、绿光发光二极管制备产业化方面的进展.经过研发和技术改进,解决了外延片内波长均匀性问题,同时外延生长的均匀性、重复性以及芯片加工的稳定性也得到较大的提高.寿命试验表明新的产品各项性能稳定.

关键词： 氮化镓 发光二极管 外延生长 芯片加工 半导体照明

作者: 黎敏 靳彩霞 董志江 孙卓

作者单位: 上海蓝光科技有限公司 华东师范大学纳米功能材料与器件应用研究中心;上海蓝光科技有限公司 华东师范大学纳米功能材料与器件应用研究中心

会议类型: 国内会议

会议名称: 第九届全国LED产业研讨与学术会议

会议地点: 南昌

会议语种:中文

页码: 17-19

在线出版日期: 2004-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）