旋转体视显微检测系统视觉空间畸变仿真研究

摘要：

结合MEMS构件的显微视觉检测课题,基于微光学视觉系统中的成像畸变探讨在MEMS微制造过程中光学视觉监控的三维空间畸变,分析三维等畸变面随畸变因子的变化.仿真结果表明视觉空间畸变具有双曲面分布的规律,本研究结果为实际畸变的产生和校正提供了理论依据,同时为光学检测或监控过程提供了视觉畸变的理论分析基础.

关键词： 视觉检测 空间畸变 畸变因子 等畸变面

作者: 刘盛 余佩琼 傅建中 陈子辰

作者单位: 浙江工业大学信息工程学院(浙江杭州) 浙江大学机械与能源工程学院(杭州)

会议类型: 国内会议

会议名称: 全球化制造高级论坛暨21世纪仿真技术研讨会

会议地点: 贵阳

会议语种:中文

页码: 102-104

在线出版日期: 2004-10-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）