聚焦电子束离子束双束系统在材料科学与技术中的应用

摘要：

聚焦电子束离子束双束系统由于其电子束与离子束同存在于一个腔体内,可以使用电子束扫描直接了解欲加工样品的形貌并确定加工位置,转换至离子束便可以直接加工,所以在制备透射电镜样品、光子晶体、一维纳米材料电极等工艺上有不可取代的优异条件,成为微加工技术中不可或缺的重要设备.详细介绍了利用美国FEI公司的DB235系统制备透射电镜样品、光子晶体、一维纳米材料电极等新技术的工艺过程,并与其它一些相关的制备方法进行了比较.

关键词： 聚焦离子束 微加工技术 二维光子晶体 纳米电极

作者: 金爱子 陈雷明 杨海方 罗强 崔铮

作者单位: 中国科学院物理研究所微加工实验室(北京) 英国卢瑟福国家实验室 Chilton Didcot,Oxford shire OX11 0QX,UK

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国科协第五届青年学术年会材料科学技术分会暨第三届海内外中华青年材料科学技术研讨会

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 243-246

在线出版日期: 2004-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）