光子晶体的可控垂直沉积

摘要：

使用等温蒸发工艺开发了光子晶体的可控垂直沉积(CVD)技术,初步探索了光子晶体的结晶机制.使用可控垂直沉积技术将294nm和345nm的PMMA微球组生长成光子晶体.试样的扫描电镜研究结果表明,晶体结构微球排列有序度高,完美有序区范围在20μm以上,晶体表面层平整完美,在3μm×5μm的有序区内仅有2个点缺陷.

关键词： PMMA 光子晶体 可控垂直沉积

作者: 陈福义 介万奇

作者单位: 西北工业大学凝固技术国家重点实验室(西安)

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国科协第五届青年学术年会材料科学技术分会暨第三届海内外中华青年材料科学技术研讨会

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 268-271

在线出版日期: 2004-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）