GaAs二维光子晶体的制作及其研究进展

摘要：

阐述了采用扫描式电子束显微镜、干蚀刻法、微影技术等现代微加工技术制作有序结构二维光子晶体的方法及其研究进展.

关键词： 光子晶体 光子禁带 电子束微影 干蚀刻法

作者: 阿不都热苏力 森下義隆

作者单位: 新疆大学物理系(乌鲁木齐) 东京都农工大学工学部(东京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国科协第五届青年学术年会材料科学技术分会暨第三届海内外中华青年材料科学技术研讨会

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 260-262

在线出版日期: 2004-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）