SOL-GEL方法制备PZT铁电薄膜新方法及铁电特性研究

摘要：

我们用SOL-GEL方法对PZT的制备进行了深入细致的研究,PZT薄膜不同组分的加入顺序对铁电特性的影响较小,而精确地控制PZT铁电薄膜的组分是制备性能良好的铁电薄膜的关键,铁电薄膜的退火条件对铁电薄膜特性有着至关重要的影响.我们运用将Zr及Ti有机物溶液加入Pb的有机溶液的新的制备工艺流程以精确地控制Pb/Zr/Ti的组分,从而制备出性能良好的铁电薄膜.在大量实验的基础上,我们绘制出扩散炉和快速热退火时,钙钛矿的形成与退火温度及时间的关系图,并且得出PZT铁电薄膜最佳的退火温度和时间区域.

关键词： SOL-GEL PZT 钙钛矿结构 铁电薄膜 制备工艺 退火温度

作者: 颜雷 汤庭鳌 黄维宁 姜国宝 程旭 姚海平 钟琪

作者单位: 复旦大学电子工程系微电子学研究所(上海)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第二届海内外中华青年学者材料科学技术研讨会暨第七届全国青年材料科学研讨会

会议地点: 杭州

会议语种:中文

页码: 758-761

在线出版日期: 2000-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）