c-BN薄膜的生长机制

摘要：

立方氮化硼(c-BN)薄膜因其优异的机械、电学特性而有着广泛的应用前景.本文在大量的实验研究基础上,阐明衬底温度和荷能粒子轰击的重要作用,并综合分析了其他研究者的结果,较全面地论述了c-BN薄膜沉积过程中非晶层和h-Bn层的形成以及c-BN相的形核长大机制.

关键词： 立方氮化硼 薄膜 磁控溅射 电学特性 衬底温度 荷能粒子轰击

作者: 王波 宋雪梅 严辉 陈光华

作者单位: 北京工业大学材料学院(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第二届海内外中华青年学者材料科学技术研讨会暨第七届全国青年材料科学研讨会

会议地点: 杭州

会议语种:中文

页码: 637-639

在线出版日期: 2000-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）