BCN薄膜的射频反应溅射法制备与结构特性

摘要：

本文研究以六方BN为靶材,CH<,4>为反应气体,利用射频溅射技术制备BCN三元化合物薄膜.样品的结构由X射线衍射谱、傅立叶变换红外吸收谱和X射线光电子能谱等方法进行表征.实验结果表明样品具有类石墨涡旋蜂窝状结构的BCN三元化合物.通过改变CH<,4>分压,能够控制薄膜中的C含量;随CH<,4>分压的增高,薄膜中C含量增大,电导率也显著增大.当CH<,4>分压比在10﹪附近时,样品呈现半导体特性,由电导率-温度关系曲线求得电导激活能约为0.8eV.

关键词： BCN薄膜 射频反应溅射 结构表征 电学特性 X射线衍射谱 六方氮化硼

作者: 岳金顺 程文娟 蒋钢娟 贺德衍 陈光华

作者单位: 兰州大学物理系(兰州) 北京工业大学应用物理系(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第二届海内外中华青年学者材料科学技术研讨会暨第七届全国青年材料科学研讨会

会议地点: 杭州

会议语种:中文

页码: 650-652

在线出版日期: 2000-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）