非平衡等离子体气相合成纳米氮化钛微粉

摘要：

本文在实验的基础上,采用TiCl<,4>+N<,2>+H<,2>气相化学反应体系,对用微波等离子体化学法合成氮化钛纳米粉体材料进行了研究.通过X-衍射,透射电子显微镜,激光粒度分析,比表面积分析对粉体的物性进行了研究.仪器的测试分析表明,粉体是较完整的纳米颗粒晶、单相的δ-TiN.粉体的大部分呈球形,少数呈正方和菱方形,比表面积在30-60m<”2>/g之间,粒度在20-40nm之间.

关键词： 非平衡等离子 气相合成 纳米 氮化钛

作者: 马兵 黄生乔

作者单位: 中国科学院过程工程研究所

会议类型: 国内会议

会议名称: 2004中国纳米技术应用研讨会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 124-128

在线出版日期: 2005-03-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）