天线效应的产生及修复

摘要：

随着现代半导体集成电路工艺的发展,栅的尺寸和氧化层的厚度越来越小,然而互连线的长度却有增加的趋势,这就造成了与之相关的天线效应越来越显著.本文介绍了天线效应的原理,以及修复方法.

关键词： 天线效应 跳层 反偏二极管 半导体集成电路 天线修复

作者: 王文兵 柯导明 陈军宁 孟坚

作者单位: 安徽大学电子系(安徽合肥)

会议类型: 国内会议

会议名称: 全国第13届计算机辅助设计与图形学学术会议暨全国第16届计算机科学与技术应用学术会议

会议地点: 合肥

会议语种:中文

页码: 694-696

在线出版日期: 2004-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）