微电子无机化学品的研究现状与进展

摘要：

超大规模集成电路(ULSI)生产需要大量的必不可少的高纯超净化学品,其中微电子无机化学品占了很大比重.本文综述了当前国内外在微电子无机超净高纯化学品、微电子无机超净高纯气体等方面的研究现状与进展,讨论了超净高纯化学品分析检测的原则,展望了微电子无机化学品的发展前景.

关键词： 微电子化学品 无机化学品 超净高纯化学品

作者: 许振良

作者单位: 华东理工大学化学工程研究所(上海)

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国化工学会无机酸碱盐专业委员会2004年无机盐学术年会

会议地点: 张家界

会议语种:中文

页码: 27-31

在线出版日期: 2004-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）