二氯硅烷的生产与开发

摘要：

重点描述了二氯硅烷(H<,2>SiCl<,2>)的制备和精制工艺,H<,2>SiCl<,2>的工业化合成方法主要有歧化法、氯化法和氢化法3种,结合使用先进的精制工艺,可满足高端电子产品的需求.同时介绍了H<,2>SiCl<,2>的性质、应用、规范和经济概况.

关键词： 二氯硅烷 氯代硅烷 电子特气 半导体工业

作者: 于剑昆

作者单位: 黎明化工研究院(河南洛阳)

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国化工学会无机酸碱盐专业委员会2004年无机盐学术年会

会议地点: 张家界

会议语种:中文

页码: 120-125

在线出版日期: 2004-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）