透射电子显微镜分辨率的改进

摘要：

本文在论述透射电子显微镜物镜球差和色差对电子显微镜分辨率的限制基础上,介绍了克服这些限制因素的方法,并展示了同时配备有球差矫正器和单色器透射电镜的一些最初结果.

关键词： 电子显微 分辨率 球差矫正器 电子单色器

作者: 汤栋 Freitag B

作者单位: FEI Electron Optics,PO Box 80066,5600 KA Eindhoven,The Netherlands

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十三届全国电子显微学会议

会议地点: 威海

会议语种:中文

页码: 293-297

在线出版日期: 2004-08-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）