钛酸钡陶瓷膜形成过程的AFM研究

摘要：

高介电薄膜材料由于具有较高的电荷存储能力而作为集成电路上的芯片电容,可减少集成电路上电容所占面积,提高电路集成效率,因而日益受到人们的关注,BaTiO<,3>薄膜即是重要的薄膜材料之一.本文作者采用溶胶-凝胶甩膜法制备钛酸钡系薄膜,并通过原子力显微镜(AFM)考察制备过程中薄膜的微观形态变化及钛酸钡的结晶习性.

关键词： BaTiO<,3>薄膜 薄膜材料 原子力显微镜 微观形态

作者: 翟学良 杨芙丽 李纪标 周鸿娟

作者单位: 河北师范大学实验中心(河北石家庄)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十三届全国电子显微学会议

会议地点: 威海

会议语种:中文

页码: 429-429

在线出版日期: 2004-08-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）