扫描电镜图像放大倍率校准有证参考物质的研究

摘要：

扫描电镜在半导体工业、微机械、微电子、材料科学及生命科学中都有广泛的应用.在微米、纳米尺度的形态观测和表征方面,扫描电镜的图像分析系统发挥了重要的、不可替代的作用.因此,研制各类小尺度(微米和纳米尺度)的有证参考物质并对扫描电镜图像放大倍率进行校准是非常重要的.

关键词： 放大倍率 扫描电镜 图像分析 校准标准

作者: 周剑雄 陈振宇

作者单位: 中国地质科学院矿产资源研究所(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十三届全国电子显微学会议

会议地点: 威海

会议语种:中文

页码: 480-481

在线出版日期: 2004-08-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）