扫描电镜的试样制备方法及应用

摘要：

扫描电镜的试样制备是一个非常重要的老问题,特别是场发射扫描电镜观察过程中的非导电试样的制备方法,制备方法不正确就会出现一些假象.本文主要讨论了与SEM图像质量相关的因素,举例说明了选择最佳条件在无机非金属材料研究中的应用.

关键词： 扫描电镜 制备方法 试样制备

作者: 李香庭 曾毅 钱伟君 高建华

作者单位: 中国科学院上海硅酸盐研究所(上海)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十三届全国电子显微学会议

会议地点: 威海

会议语种:中文

页码: 514-514

在线出版日期: 2004-08-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）