纳米多层膜中的交变应力场与超硬效应

摘要：

由两种陶瓷材料以纳米量级交替沉积形成的纳米多层膜存在硬度异常升高的超硬效应,由于其在耐磨减摩涂层上的重要应用前景而得到关注和研究.调制周期从1.6nm到24nm的一系列VN/(Ti,Al)N纳米多层膜和VN、(Ti,Al)N单层膜在多靶磁控溅射仪上采用反应溅射法制备.通过改变基片在靶前停留的时间,获得不同成分调制周期的一系列VN/(Ti,Al)N纳米多层膜和VN、(Ti,Al)N单层膜.

关键词： 纳米多层膜 交变应力场 超硬效应

作者: 张惠娟 袁家栋 许辉 赵文济 李戈扬

作者单位: 上海交通大学材料科学与工程学院(上海) 上海工具厂有限公司(上海)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十三届全国电子显微学会议

会议地点: 威海

会议语种:中文

页码: 374-374

在线出版日期: 2004-08-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）