聚焦离子束(FIB)快速制备透射电镜样品

摘要：

高性能聚焦离子束系统(简称FIB)具有许多独特且重要的功能,已广泛地应用于半导体工业中.近年来,FIB在材料科学研究领域也有了广泛的应用.本文主要介绍利用FIB快速制备TEM样品的方法.

关键词： 透射电镜样品 聚焦离子束系统 制备方法

作者: 周伟敏 徐南华

作者单位: 上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室(上海)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十三届全国电子显微学会议

会议地点: 威海

会议语种:中文

页码: 513-513

在线出版日期: 2004-08-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）