会议专题

结合体构造的Monte Carlo方法模拟扫描电镜成像衬度

Monte Carlo方法是一种通过随机抽样来再现或模拟真实物理过程的计算方法,在电子显微学中,可用来有效地模拟电子在试样内部和表面附近的散射和输运过程,从而得到从样品表面发射时二次电子和背散射电子信号的各种分布.采用此方法进行电子散射轨迹的模拟时,需要计算运动电子在散射时的散射角、方位角、能量损失及步长等,这些物理量均可通过相应的截面进行随机抽样而得到.

结合体构造 成像衬度 Monte Carlo方法 电子显微学

李会民 丁泽军

中国科技大学结构分析重点实验室,物理系(安徽合肥)

国内会议

第十三届全国电子显微学会议

威海

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362-362

2004-08-20(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)