电化学沉积DLC和CN<,x>薄膜的微观形貌比较

摘要：

类金刚石碳膜(DLC)中掺入氮元素的主要目的有两个;一是寻求人工合成β-C<,3>N<,4>超硬化合物的可能性,二是对类金刚石碳膜进行掺杂,以改善其性能.采用电解甲醇以及甲醇和尿素混合溶液的方法,得到了DLC膜和掺氮的类金刚石薄膜(简称CN<,x>膜),基底材料为N(100)单晶硅.用SPM-9500型原子力显微镜观察样品表面形貌;在UMT-2MT型摩擦磨损实验机上测定薄膜的摩擦性能.

关键词： 电化学沉积 CN<,x>薄膜 微观形貌 类金刚石碳膜 原子力显微镜 摩擦性能

作者: 陈刚 阎兴斌 刘惠文 徐洮

作者单位: 中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室(甘肃兰州)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十三届全国电子显微学会议

会议地点: 威海

会议语种:中文

页码: 430-430

在线出版日期: 2004-08-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）