螯合剂对钛酸钡薄膜表面形貌的影响

摘要：

近年来,由于BaTiO<,3>薄膜在动态存储器(DRAM)、薄膜存储器等方面的潜在应用前景而广爱青睐.钛酸钡薄膜的制备方法很多,溶胶-凝胶法是其中之一.该法具有化学剂量比可控性好、不需真空设备、适合大面积大规模生产的优点,因而逐步为材料学家所重视,是研制高质量超薄型膜的重要手段.本文用Sol-Ger工艺制备BaTiO<,3>薄膜,研究了螯合剂乙酰丙酮对钛酸钡结晶起始温度的影响及薄膜微结构的影响规律.

关键词： 表面形貌 BaTiO<,3>薄膜 溶胶-凝胶法 螯合剂 微结构 制备工艺

作者: 李纪标 施民梅 杨芙丽 翟学良

作者单位: 河北师范大学实验中心(河北石家庄) 沧州师范专科学校化学系(河北沧州)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十三届全国电子显微学会议

会议地点: 威海

会议语种:中文

页码: 432-432

在线出版日期: 2004-08-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）